ГОСТ Р 8.635-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

Терминология ГОСТ Р 8.635-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки оригинал документа:

3.9 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.

Определения термина из разных документов: Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер)

3.6 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

Определения термина из разных документов: видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль)

3.13 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

Определения термина из разных документов: геометрическая форма элемента рельефа

3.5 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из n строк по m пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюдателя.

Определения термина из разных документов: изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение)

3.7 масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффициент): Отношение значения длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

Определения термина из разных документов: масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа (масштабный коэффициент)

3.3 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: пиксель

3.1 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

Определения термина из разных документов: рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности)

3.10 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

Определения термина из разных документов: рельефная мера

3.11 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10^-6 м.

Определения термина из разных документов: рельефная мера нанометрового диапазона

3.4 сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование): Построчное перемещение зонда над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: сканирование элемента исследуемого объекта (сканирование)

3.12 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенного выше прилегающих к нему областей.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме выступа (выступ)

3.2 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа поверхности (элемент рельефа)

3.8 эффективный радиус острия зонда микроскопа (эффективный радиус зонда): Радиус сферы, характеризующей геометрические размеры острия зонда микроскопа.

Примечание - Эффективный радиус зонда микроскопа определяют по значению радиуса сферы, вписанной в острие зонда при одновременном касании острия боковой грани выступа и дна канавки рельефной меры по ГОСТ Р 8.629.

Определения термина из разных документов: эффективный радиус острия зонда микроскопа (эффективный радиус зонда)